
DRY VACUUM PUMPS
SST Series
- 공업로 (소결, 탈지·침탄·일반 열 처리)
- 수지 성형 (압출기·성형기)
- 화학 식약·의약 제조 프로세스 (중합·반응·증류·정제·탈수 건조·농축 등)
- 실리콘 단결정 인상 장치·태양 전지 제조 장치·진공 동결 건조 장치·진공 세척 장치 등
흡입물이나 액체(응축액)의 연속 배출이 곤란해서
실린더나 배기 경로 중심에 퇴적하기 쉽고,
소모품인 축 씰이 실린더 간에 있기 때문에, 성능 저하하기 쉬워집니다.
SST Series는 단단배기 때문에 배기 경로가 짧고,단순한 구조입니다.
모서리가 없는 스크류에 의해 기체를 보내 중심 찌꺼기가 없이
흡인물이나 액체를 밀어내서 연속적으로 배출할 수 있습니다.
축 씰이 배기 경로 위에 없으므로 성능이 저하되S기 어려운 구조입니다.
설치 장소에서 쉽게 세척 작업이나 분해 작업이 가능하며,
이용자가 같은 라인에서 세부 사항에 대항할수 있는 획기적인 방법을 확립했습니다.
다양한 액세서리를 갖출 수 있고
용도에 맞는 최적의 펌프를 준비합니다.
SST Series
모서리가 없는 스크류

배출 효율이 뛰어나 견고성을 중시한 구조 설계에 따른 하드웨어 프로세스에서도 안정된 운전을 가능하게 합니다.
•용도
- 공업로 (소결, 탈지·침탄·일반 열 처리)- 수지 성형 (압출기·성형기)
- 화학 식약·의약 제조 프로세스 (중합·반응·증류·정제·탈수 건조·농축 등)
- 실리콘 단결정 인상 장치·태양 전지 제조 장치·진공 동결 건조 장치·진공 세척 장치 등
자체기술 개발의 스크류 형상이 높은 배출 성 · 고 내구성을 실현
지난 연구로 쌓아온 최고기술력이 높은 배출 가능성을 나타내고 있습니다.
측면 씰 구조 때문에 마모에 의한 배기 능력 저하가 적고 높은 내구성을 실현하고 있습니다.
축 부분은 트리플 씰 구조로 기밀성 향상과 수명 연장을 도모하고 있습니다.
냉각용 가스나 축 씰 가스 및 퍼지 가스가 불필요합니다.
운전 비용 삭감에 공헌합니다.
저속 회전에도 불구해야 대기압에서 도달 압력까지
모든 압력 영역에서 연속 운전이 가능합니다.
접촉부는 특수 불소 수지 코팅을 실시하고 있습니다.
내식 도금 사양도 대응할 수 있습니다.
기름회전 진공펌프와 같은 오일 교환 불필요, 수봉식
진공펌프의 중심배수도 없습니다.
저진동 저소음으로 설치 장소의 환경을 개선할 수 있습니다.
지난 연구로 쌓아온 최고기술력이 높은 배출 가능성을 나타내고 있습니다.
측면 씰 구조 때문에 마모에 의한 배기 능력 저하가 적고 높은 내구성을 실현하고 있습니다.
축 부분은 트리플 씰 구조로 기밀성 향상과 수명 연장을 도모하고 있습니다.
냉각용 가스나 축 씰 가스 및 퍼지 가스가 불필요합니다.
운전 비용 삭감에 공헌합니다.
저속 회전에도 불구해야 대기압에서 도달 압력까지
모든 압력 영역에서 연속 운전이 가능합니다.
접촉부는 특수 불소 수지 코팅을 실시하고 있습니다.
내식 도금 사양도 대응할 수 있습니다.
기름회전 진공펌프와 같은 오일 교환 불필요, 수봉식
진공펌프의 중심배수도 없습니다.
저진동 저소음으로 설치 장소의 환경을 개선할 수 있습니다.

루트식 펌프와의 비교
•루트식 진공펌프
루트식 진공펌프는 다단 배기 때문에 배기 경로가 길고 복잡한 중심구조입니다.흡입물이나 액체(응축액)의 연속 배출이 곤란해서
실린더나 배기 경로 중심에 퇴적하기 쉽고,
소모품인 축 씰이 실린더 간에 있기 때문에, 성능 저하하기 쉬워집니다.

모서리가 없는 스크류에 의해 기체를 보내 중심 찌꺼기가 없이
흡인물이나 액체를 밀어내서 연속적으로 배출할 수 있습니다.
축 씰이 배기 경로 위에 없으므로 성능이 저하되S기 어려운 구조입니다.

관리성의 추구

이용자가 같은 라인에서 세부 사항에 대항할수 있는 획기적인 방법을 확립했습니다.
클리닝 작업

흡기관 세트를 이용하는 것으로 세정 액의 투입을 할 수 있습니다.
세정 액을 투입하는 것으로 펌프 내부를 세정해 퇴적물을 제거 작업을 할 수 있습니다
유지보수 작업

펌프는 플랫폼 위에서 쉽게 분해할 수 있으므로, 내부점검이나 직접 세정이 가능합니다.
탈착식 유지보수 전용 거치대를 이용하는 것으로 설치 장소에서 분해 조립이 가능합니다.
또, 베어링의 부품 수량이 적기 때문에 교환 작업에 큰 비용부담이 되지 않습니다.
보수 관리는 사용자님으로 쉽게 실시할 수 있으므로,
유지보수 비용이 대폭의 삭감을 가능하게 하고 있습니다.
탈착식 유지보수 전용 거치대를 이용하는 것으로 설치 장소에서 분해 조립이 가능합니다.
또, 베어링의 부품 수량이 적기 때문에 교환 작업에 큰 비용부담이 되지 않습니다.
보수 관리는 사용자님으로 쉽게 실시할 수 있으므로,
유지보수 비용이 대폭의 삭감을 가능하게 하고 있습니다.
옵션 결정

용도에 맞는 최적의 펌프를 준비합니다.

1.크리닝 흡기관 세트 |
펌프 내부세정 |
7.역류 방지 세트 |
펌프 정지시 역류방지 |
2.히터 세트 |
펌프 내부가열 |
8.냉각수 세트 |
냉각수량의 확보 |
3.중간 드레인 탱크 |
기하 보호커버 |
9.シルパージセット |
도입 가스조절 |
4.배기 드레인 탱크 |
베기 드레인 용량UP |
10.싸이센서 세트 |
배기음절감 |
5.싸이렌서 소음기(공냉,수냉) |
소음 드레인 감소 |
11.SST 모터 |
표준.고효율.방폭 |
6.메니폴더 세트 |
유닐리티 연결부 집중하 |
12.흡기 필터 |
오염물 흡입 방지 |
메인트랜스 가대 |
탈착 및 분해작업시 필요 |
조작반 |
펌프의 운전제어 |
형식 | SST100 | SST150 | SST200 | 형식 | SST100 | SST150 | SST200 | |||
배기속도L/min | 60Hz | 1,220 | 1,970 | 2,800 | Power supply | 사양•주파수•전압 | AC, 3∅, 50/60Hz, 200V or 400V | |||
50Hz | 970 | 1,610 | 2,350 | 전격용량 VA | 2800이하 | 4100이하 | 5500이하 | |||
도달압력Pa | 60Hz | 0.8 | 0.7 | 0.6 | 공급압력 | 0.2~0.4 | ||||
50Hz | 1.0 | 1.0 | 0.9 | 유량 L/min | 5이상 | 7이상 | ||||
최대흡입압력 Pa | 1x105(대기압) | 급수온도 °C | 5~40 | |||||||
모터용량 | 3.7 | 5.5 | 7.5 | 접속구경 | Rc 3/8 | Rc 3/4 | Rc 1/2 | |||
흡기구 | VG50 | VG80 | 퍼지가스 | 공급압력 MPaG | 0.1~0.5 | |||||
배기구 | Rc 2 | 조절압력 MPaG | 0~0.05 | |||||||
윤활유 | 종류 | EP•83 | 유량 | 실링가스 L/min | 0~5 | |||||
유량 | 1 | 1.1 | 퍼지가스 L/min | 0~50 | ||||||
구리스종류 | 진공구리스 | 접속구경 | Rc 1/4 | |||||||
구리스량 g | 40 | 50 | 50 | 압축공기 | 공급압력 | 0.35~0.9 | ||||
중량 | 펌프본체 | 200 | 240 | 400 | 조정압력 | 0.35~0.7 | ||||
최대(악세사리포함) | 300 | 400 | 560 | 접속구경 | Rc 1/4 |

SST100 |
SST150 |
SST200 |
|
A |
1130 |
1217 |
1248 |
B |
490 |
494 |
500 |
C |
943 |
981 |
1011 |
D |
50 |
64 |
50 |
E |
261 |
241 |
241 |
F |
782 |
820 |
850 |
G |
100 |
100 |
100 |
H |
69 |
66 |
66 |
I |
370 |
353 |
350 |
J |
535 |
518 |
515 |
K |
919 |
902 |
899 |
L |
775 |
828 |
842 |
M |
75 |
95 |
124 |